水冷炉体-12寸加热器-大口径炉膛-晨立

一、炉体材料:

1. 炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

2. 绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。

3. 保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

4. 外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

5. 热偶座：进口弹簧卡状固定座。

6. 把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一 定机械强度。

二、炉体参数:

1. 工作温度： ≤1300℃

2. 恒温区长度： 500mm-1000mm

3. 炉体内径： Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）

4. 规范使用： 寿命可达20个月以上（1200℃）

5. 替代进口： 配套

三、应用：

青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。