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设备分类:从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
主要技术指标:
★工位: 单、双、三工位
★工作温度: 300~1100℃(不锈钢真空室zui高1000℃)
★真空度: 优于5×10-3 Pa
★真空室直径:Φ150~300 mm
★恒温区长度:400~1000 mm
★控制精度: ±1.0~3.0℃
★炉体移动速度:0~400 mm/min
★zui大充气压力:0.5 MPa (不锈钢真空室)
★加热功率: 10~80 KVA
★控制系统: 进口仪表+PLC+触摸屏
★安 全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警