扩散炉炉体 加热器

一、炉体材料:

★   炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

★   绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。

★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

★    热偶座：进口弹簧卡状固定座。

★    把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有机械强度。

 二、炉体参数:

★   工作温度：   ≤1300℃

★   恒温区长度： 500mm-1000mm

★   炉体内径：   Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）

★   规范使用：   寿命可达20个月以上（1200℃）

★   替代进口：   配套

三、应用：      

    青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。