程控扩散炉-闭关软着路扩散炉 青岛晨立

  外型形式：卧式1—4管结构 程控高低温 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。