RTP真空退火炉、真空合金炉 青岛晨立电子

RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备，可根据客户不同需求定制。

主要技术参数                            

◆工艺管数量：1管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：200～1100℃

◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆真空度：   3×10-4Pa

◆升温速度：  60度/min

◆降温速度：  60度/min

◆控制方式： 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制